Вихрев В.И.

 Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность и сократить время запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата с аэростатическими опорами роторов (Р) турбомолекулярной и молекулярной ступеней (ТС и МС). Разгон Р ТС и МС осуществляют одновременно, контролируют величину тока нагрузки (ТН) преобразователя частоты, управляющего электродвигателем ТС, и по достиже...

 Применение: для работы различных откачных вакуумных средств, работающих на атмосферное давление. Сущность изобретения: при подаче сжатого воздуха ротор всплывает. Насос включается в рабочий режим, происходит откачка газа из откачиваемого объема в кольцевую канавку. Наличие вязкостной ступени создает на молекулярно-вязкостной ступени давление ниже атмосферного, т.е. откачиваемый газ беспре...

 Насос может быть использован в технологических установках для создания и поддержания вакуума с остаточным давлением газа от 10-1 до 10-2 Па. В корпусе насоса имеются отверстия, предназначенные для сообщения с атмосферой и с вакуумируемой полостью. Ротор установлен с радиальными и аксиальными зазорами в корпусе. На наружной поверхности ротора, по существу, на всей его длине имеются винтовы...