ЭДЕЛЬШТЕЙН Г.Б.

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВМДЕПЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик r«>727045 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 060875 (2) ) 2160765/18-25 с присоединением заявки Hе 2 35? 174/18-25 (23) Приоритет Опубликовано 070681. Бюллетень Ко 21 Дата опубликования описания 0 7.06.81 (51)М. Кл Н 01 J 37/26 Государственный комитет СССР по делам из...

  Изобретение относится к устройствам для исследования поверхности образца с помощью электронного или ионного пучка. Цель изобретения - повышение достоверности результатов анализа за счет исключения из вакуумируемого объема микроанализатора материалов, выделяющих при вакуумировании органические и водородсодержащие фракции. Микроанализато р содержит сверхвысоковакуумную прогреваемую...