Бердников А.Е.

 Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, в частности способов изготовления мишеней для магнетронного распыления, и может быть использовано для металлизации изделий электронной техники. Цель изобретения - упрощение процесса изготовления мишени и повышение его производительности - достигается путем использования энергии магнетронного разряда на процесс расплавления распыляемого ко...

 Использование: в твердотельной электронике. Сущность изобретения: способ включает разложение моносилана в плазме тлеющего разряда с образованием продуктов реакции и осаждение из них пленки в плазме тлеющего разряда на подложку. Новым является то, что при разложении и осаждении используют плазму тлеющего разряда с частотой 45-65 кГц. Техническим результатом изобретения является повышение с...