ЩЕРБИНИН АНАТОЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  О П И С А Н И Е 52477 ИЗОБРЕТЕНИЯ Йаюа Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.12.77 (21) 2554314/18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.07.80. Бюллетень № 28 (45) Дата опубликования описания 30.07.80 (51) М. Кл.з G 11С 11/40 Государственный комитет (53) УДК 681.327.67 (0...

  Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, в частности к устройствам для обработки изделий электронной техники в жидкостях, является усовершенствованием авт. св. N 819231 и позволяет улучшить качество перемешивания за счет расширения диапазона колебаний и интенсификации перемешивания жидкостей в вертикальной плоскости. Гибкие полые элементы выполнены с пере...