ЗАЙЧИКОВА Е.Б.

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОБЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеров...