ЕГОРОЧКИН А.Н.

  НЕГАТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ, включающий полиэфир, содержащий светочувствительные группировки вида (dH dHJ -dgHs -dII о гд& п J-3 например поливинилциннамат, сенсибилизатор и растворители, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности и разрешающей способности фоторезиста и повышения качества воспроизведения субмикронных элементов, в своем составе фоторезист дополнительн...

  ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ, вклю .чающий сульфоэфиро-нафтодиазохинона,. новолачную смолу и растворитель, отличающийся тем, что. с целью повышения стабильности разрешающей способности и качества воспроизведения субмикронных элементов , в своем составе фоторезист дополнительно содержит комплексообразующую добавку, например йод или тетрадианэтилен , или тринитрофенол, или тетрацианхиноди...