СЕМЧИНОВА О.К.

  1п17У4476 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Юаюз Йввтскй Сециапистическик Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.05.79 (21) 2767761/18-25 (51) М. Кл.з Н 01L 21/363 с присоединением заявки М Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30,10.82. Бюллетень X 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.82 (53) УДК 621.382 (088.8)...