ТАНЦЫРЕВ Г.Д.

  ИСТОЧНИК ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ, соединяющий держатель образца с нагревателем , систему электродов и выводные щели, отличающийс я тем, что, с целью снижения примесей в пучке ионов путем уменьшения загрязнения поверхности образца адсорбированными молекулами остаточных газов, введен экран, охватьгаающий источник,:и средство охлаждения его до криогенных температур. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИ...