Асеев А.Л.

 (19)SU(11)786705(13)A1(51)  МПК 6    H01L21/26(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СВЕРХРЕШЕТОК Изобретение относится к микроэлектронике и может найти применение при создании полупроводниковых приборов с использованием сверхрешеток. Известен с...