Белогорохов А.И.

 Способ изготовления многослойных кремниевых структур, включающий создание в кремниевой подложке скрытого слоя диэлектрика на основе нитрида кремния с помощью повторяющихся циклов имплантации лицевой стороны подложки ионами азота - отжиг, отличающийся тем, что, с целью уменьшения толщины слоя диэлектрика при сохранении его изолирующих свойств, дополнительно проводят в каждом цикле перед от...

 Изобретение относится к датчикам контроля химического состава технологических воздушных газовых сред и может быть использовано для селективной регистрации аммиака. Датчик газообразного аммиака в воздухе содержит чувствительный к аммиаку элемент, расположенный на диэлектрической подложке. В качестве чувствительного элемента используется пористая матрица, пропитанная 7, 16 дибромдибензотетр...

 Использование: для контроля токсичных газов на предприятиях нефтегазовой, химической промышленности и в других отраслях для контроля сероводорода в воздухе рабочих зон. Технический результат изобретения заключается в повышении чувствительности и селективности определения сероводорода в воздушных средах в широкой области концентраций, снижении температуры, при которой производится определе...

 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам контроля химического состава воздушных газовых сред, и может быть использовано для регистрации содержания аммиака. Датчик содержания аммиака в воздухе содержит чувствительный к аммиаку элемент, расположенный на диэлектрической подложке, снабженной системой электродов. В датчике в качестве газочувствительного вещества испол...