ОДИНОКОВ В.В.

  УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащая вакуумную камеру с крышкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки - выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими , отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции установки и ее эксплуатации, перегородки секции вып...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЕПАЗМЕННОГО НАНЕСЕЬШЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее анод, катод-мишень, магнитную систему с полюсными наконечниками, размещенную с нерабочей стороны катодамишени , подложкодержатель и дополнительную магнитную систему с полюсными наконечниками, установленную с нерабочей стороны подложкодержателя напротив одноименных полюсных наконечников магнитной системы, отличающееся...