КЛИНДУХОВ ВАЛЕРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ

  ОпНСАННЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 25. 12. 78 (21)2700528/18-21 (51) М с присоединением заявки Йо (23) Приоритет G 0 l R 23/16 Государственный комитет СССР яо делам иэобретений и открытий Опубликовано 2Ы280. Бюллетень Но 47 Дата опубликования описания 231280 (53) УДК 621 °...

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для преобразования цифрового кода в аналоговый сигнал - ток, управляющий электронным лучом в системах электронно-лучевой литографии полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повьшение точности преобразования. Двухполярный цифроаналоговый преобразователь содержит источник эталонного напряжения , форм...

  Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности и стабильности измерений линейных перемещений с помощью емкостного датчика перемещений, который состоит из двух диэлектрических пластин, установленных одна над другой. На обращенных одна к другой поверхностях пластин нанесены металлические электроды, покрытие тонкой диэлектрической пленкой и образующие...