ДЕНИСОВ А.Г.

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ МОЛЕКУЛЯР- НО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ, включающее камеру роста, камеру анализа и камеру очистки подложек, соединенные через вакуумные затворы, средства для загрузки ивыгрузки подложек и систему их перемещения из камеры в камеру, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и чистоты процесса, средства для загрузки и выгрузки подложек размещены в отдельны...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ()ю С 30 В 23/08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3759328/26 (22) 28.06.84 (46) 15,11.91. Бюл. М 42 (72) А.Г,Денисов, Н.А.Кузнецов, В.М.Ляпин и В.И.Никандров (53) 621.315.692 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР N. 823117, кл. В 25 J 11/00,...