ЩЕКОЧИХИН Ю.М.

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ МОЛЕКУЛЯР- НО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ, включающее камеру роста, камеру анализа и камеру очистки подложек, соединенные через вакуумные затворы, средства для загрузки ивыгрузки подложек и систему их перемещения из камеры в камеру, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и чистоты процесса, средства для загрузки и выгрузки подложек размещены в отдельны...