Гришин С.Д.

 (19)SU(11)808000(13)A1(51)  МПК 6    H05H1/54(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСКОРИТЕЛЬ С АНОДНЫМ СЛОЕМ Изобретение относится к ионным ускорителям и может быть использовано для очистки и обработки поверхности ионным пучком, для распыления тугоплавких металлов с целью нанесени...