ТУОМО СУНТОЛА

  Сотоз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К ПАТЕНТУ (и)810085 (6l) Дополнительный к патенту (22) ЗаЯвлЕно 28.11.75 (21) 2193253/23-26 (23) Приоритет — (32) 29.11.74 (31) 3473/74 (33) Финляндия (51) М. Кл. С ЗО В 23/08 ваудаафтвеааю кематет СССР пе делам азебрвтенай в етярмтай (53) УДК 621315. 592(088 8) Опубликовано 28.02.81. Бюллетень № 8 Дата о...

  1. Способ получения составной пленки из разных элементов в вакуумированной реакционной камере на поверхности подложки путем поочередного контакта с ней паров веществ, содержащих эти элементы при их парцигшьном давлении, обеспечивакядем образование одного атомного слоя за один цикл, отличающий с я тем, что, с целью повышения чистоты и улучшения контроля процесса , после осаждения...