ХОЛМЯНСКИЙ МИХАИЛ РУВИМОВИЧ

  Оп ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТВЛВСТВУ (ii) 813178 Союз Советских Социалистических Реслублик (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (5l)M. Кл. 6 01. Й l/20 < Ol N 1/24 (22) Заявлено 4.09.78 (21} 2665853/25-26 с присоединением заявки И (23) Приоритет Ваудорстввниый комитет есс! ао долин изобретений и открытий Опубликовано И3.03.84.. Бюллетень М 10 (53) УДК 543 .053...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ! 0-15 спирт ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2 1 ) 3503467/2 3-05 (22) 22.10.82 (46) 15.04.86. Бюл. 11 - 14 (72) Б,Р. Фейгельсон, И.С. Дашевская, Н.В. Черняк, В.Н. Трещалин и M.P ° Холмянский (53) 66?.524.4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР N 7307...

  Область использования: фотолитографические процессы. Сущность изобретения: негативный фоторезист содержит, г: синтетический циклизованный изопреновый каучук 24,9-65,0; 2,6-бис(4 -азидобензаль)-4-метилциклогексанон 1,0-4,5; ксилол 140,0-200,0. Указанный каучук имеет средневесовую ММ 48000-65000, среднечисловую ММ 15000-20000, степень циклизации 100%. Снижается микронеровность форм...