ПРОХОРОВ ВЛАДИСЛАВ ИВАНОВИЧ

  (1)815793 Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву » (22) Заявлено 10.09.76 (2! ) 2491147 j18-25 (51) М. Кл.з Н 01 J 37/26 с присоединением заявки Ко Государственный комитет СССР ао делам изобретений н открытий (23) Приоритет Опубликовано 23.0381, Бюллетень М 11 (53) УДК 621 ° 385. »833(088...

  Способ относится к области контроля кремниевых структур, выращенных на подложках , имеющих отклонение от плоскостности . Сущность изобретения: на поверхность эпитаксиальной структуры наносят маскирующее покрытие. Вскрывают в нем окна прямоугольной формы, одна из сторон которых перпендикулярна базовому срезу, причем другая сторона имеет длину, превышающую значение W/tg «, где W -...