РОЗЕНБЛЮМ М.Л.

  СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖИ С РАЗВИТОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ, включающий создание атомарного потока наносимого материала его термическим испарением, рассеяние атомарного потока и осаждение на подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, рассеяние атомарного потока осуществляют термическим испаре-. нием, неравномерно нагревая наносимый материале...