ШАШКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ

  Сею э Советски к Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61} дополнительное к авт. свид-ву (22}Заявлено l2,07.79 (21} 2795890/25-08 с присоединением заявки М В 25 Х l t/0G Гееудеретеенный квинтет СССР до делам нзебретеннй и еткрытнй (23) П риоритет Опубликовано 23.04.8l. Бюллетень М15 Дата опубликования опнсания25.04.8l (5З) УДК 62-229.72 (088.8) .:j,-; Н. А...

  Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и может использоваться в вакуумных установках для передачи изделий из одной вакуумной камеры в другую, например для передачи подложек в установках электронной и ионной спектроскопии. Целью изобретения является повышение надежности работы за счет увеличения жесткости конструкции. Вакуумный манипулятор состоит из герметического к...

  Сущность изобретения: в вакуумном координатном столике, содержащем размещенную на фланце платформу, механизмы поступательного и вращательного перемещений , платформы выполнены в виде телескопического , с гибкой связью и зубчатого .механизмов, при этом вакуумные вводы движения выполнены в виде вводов вращения . 4 ил. С К13 СОР>Е ТСКИХ сО!!иллистических РЕСПУГЛИК (си Н 05 К 13...