КОРНЕЕНКОВ ЮРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик < В23272 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву— (22) Заявлено 2505.79 (21) 2782587/23-26 с присоединением заявки Ho— (23) Приоритет— Опубликовано 2304.81.Бюллетень bio 15 Дата опубликования описания 230481 (51)М. Кл С 01 В 9/06 Государственный комитет СССР по делам изобретений и о...

  Использование: при получении особочистых изделий из пиролитических нитридов бора и кремния. Устройство содержит вертикальный цилиндрический реактор., изготовленный из диэлектрического материала. Внутри расположен подложкодер,жатель. Средство ввода газовых реагентов выполнено из двух коаксиальных трубок, причем нижний конец внутренней трубки выступает за нижний торед внешней. И вн...