ГЕРАСИМОВ ЛЕВ ЛЕОНИДОВИЧ

  ОЛЙСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНЫЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 30.03.81 (2>) 3266952/25-28 t$1) М.Nfl с присоединением заявки 89 (23) Приоритет G 01 В 11/02 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий t Ö УДК 531. 715.. 27 (088. 8) Опубликовано 151,082. Бюллетень М38 Дата опубликов...

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ МИКРОРЕЛЬЕФА ПРЕИМУЩЕСТВЕННО В ТОНКИХ СЛОЯХ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛЩКАХ , заключающийся в том, что наносят слой металла на периодическзяо структуру на подложке, освещают ее «монохроматическим когерентным пучком света, регистрируют дифракционный спектр от структуры и опре селяют глубину микрорельефа, о тл в i а ю at и и с я тем, что, с цеЛЫ0 повьааения т...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из...