Гапоненко А.Т.

 Газоразрядная электронно-лучевая пушка, содержащая корпус с закрепленными на ней высоковольтным изолятором с плазменным эмиттером и ускоряющим электродом, натекатель плазмообразующего газа, газопровод, соединяющий натекатель с плазменным эмиттером, выполненный из диэлектрического материала, отличающийся тем, что, с целью повышения электрической прочности и уменьшения габаритов пушки, она...

 Электронно-лучевая пушка, содержащая катод, анод, разделительную диафрагму с центральным отверстием, отделяющую внутренний объем пушки от рабочей камеры, и систему откачки, отличающаяся тем, что, с целью увеличения электрической прочности путем уменьшения количества газов, попадающих во внутренний объем пушки, она снабжена двумя дополнительными диафрагмами с центральными отверстиями и ист...

 Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетичных интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.), а также для научных экспериментов. Целью является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника и...

 Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетических интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.). Целью изобретения является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника ионов на основе разряд...