Малахов А.Ф.

 Изобретение относится к технике индивидуальной очистки изделий и может быть использовано, например, в производстве полупроводниковых приборов на операциях мегазвуковой очистки пластин кремния, а также фотошаблонов. Устройство содержит ванну для очистки с вакуумным столиком для закрепления пластин, цилиндрический корпус емкости со штуцером для подачи воды, сопло, закрепленное на корпусе ем...

 Изобретение относится к технике ультразвуковой очистки изделий и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов на операциях очистки полупроводниковых пластин с помощью ультразвука, а также мегазвука. Устройство содержит ванну для очистки моющим раствором, ультразвуковой излучатель, установленный на дне ванны, кассету с пластинами и механизм перемещения пластин, выполне...