МАТЮШКОВ ВЛАДИМИР ЕГОРОВИЧ

  CoIo3 Советских Социалистических Республик ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 842398 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04. 04. 79 (21) 2745046/25-28 (51)М. Кл. G 01 В 9/02 с присоединением заявки ¹ вЪаударотваннмй комитат (23) Приоритет ао илам изобретений о и открытий ОпубликованоЗ0.06 ° 81 ° Бюллетень № 24 Дата опубликования описанияЗ0...

  Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования . Целью изобретения является повышение качества изображения и долговечности при работе с лазерным излучением . Положительная плосковыпуклая линза (Л) 1 размещена на расстоянии, равном трем фокусным расстояниям объектива (3f) перед компонентом, состоящим и...

  Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых интеградьных микросхем с помощью фотолитографии. Целью является повышение разрешающей способности и качества фотошаблона, упрощение способа. Способ изготовления шаблона заключается в том, чГо на пТЬ д/Шжку наносят слой фторида лития, проводят его с рование электрон н ымг1Учк6м7 причём режим сканирования и энергия э...