Кумаков А.В.

 (19)SU(11)845685(13)A1(51)  МПК 6    H01L21/30(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СОСТАВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ФОТОРЕЗИСТОРОВ Изобретение относится к полупроводниковой электронике, а именно к технологии получения фоторезисторов, и может быть использовано в оптоэлектронике, а...