ИВАНКОВСКИЙ МАКСИМ МАКСИМОВИЧ

  Союз Советсиик Социалистическик Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 03.12.79 (21) 2846393/18-24 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.в G 05 G5/04 Н 01 Н 9/28 Гваударственнык камнтет СССР Опубликовано 07.08.81. Бюллетень № 29 Дата опубликования описания 17.08.81 (53) УДК 621.3. .067.9 (088.8) йо дела...

  О П И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61).Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26. 09. 80 (21 ) 2988517/18-24 а с присоединением заявки ¹â€” Р1 М Кп з G 05 G 5/06 Государственный комитет С.СС Р по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК621 "327 (088.8) Опубликовано 150882 Бюллетень Но30 Дата оп...

  Использование: микроэлектроника при изготовлении операционных усилителей фильтров и других схем, содержащих конденсаторы , позволяет повысить надежность и выход годных ИС. Сущность изобретения: на подложку со слоем изолирующей двуоки-. си кремния и затворной двуокиси кремния осаждают первый слой поликремния, легируют его диффузией, фосфора и последовательно осаждают первый слой н...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в полупроводниковом производстве для селективного, прецизионного травления кремний-металлсодержащих слоев. Целью изобретения является повышение селективности травления кремний-металлсодержащего слоя относительно диэлектрика при сохранении высокой точности воспроизведения размеров элементов формируемого рисунка. Дл...