БИЛЕНКО ДАВИД ИСАКОВИЧ

  О 0 И С А Н И Е, 855448 ИЗЬБРЕТЕ Н ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (6i ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.07.79 (21) 2789552/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (5!) М Кл з (i 01 N 21/41 Гасударственные комнтет (53) УДК 535.322..4 (088.8) Опубликовано 15.08.81. Бюллетень № 30 по делам нэобретений и о...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучен...

  Сущность: измеряют спектральную зависимость нормально отраженного излучения от полупроводникового материала группы АзВЬ в спектральном диапазоне 0,20 ,6 мкм, фиксируют максимальные значения дуплета коэффициента отражения RI и R2/ (R2 RI) и значение коэффициента отражения Rn на длине волны Ah и по величине AR R2 - R1 Rn определяют значение относительной , деформации постоянной реш...