ЧУРИКОВ АНАТОЛИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  8) Ю. И. Урывский, К. A. Лаврентьев, А. А. Чуриков и А. Н. Седов t (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТИ ПРОЗРАЧНОЙ В ВИДИМОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ПЛЕНКИ, НАНЕСЕННОЙ НА ОТРАЖАЮЩУЮ ПОДЛОЖКУ Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и экспресс-анализу технологических процессов и материалов, применяемых в фотолитограф и, и може...

  Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 080579 (21) 2764690/18-21 У с присоединением заявки ¹879678 (51)М. Кл э Н 01 Ь 21/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий f23) Приоритет (53) УДК 621.382 .003 (088. 8) Опубликовано 07.1181. Бюллетень No 41 Дата о...

  Изобретение относится к измерительной технике и 1иожет быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой,...