МИТЬКИН В.Н.

  1, ПОЛИРУЮЩИЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОШК КРИСТАЛЛОВ И СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ на основе водных растворов , отличающийся тем, что, с целью уменьшения токсичности, он содержит дифторид ксенона при следующих соотношениях компонентов, вес.%: Дифторид ксенона 0,1-2,0 Вода98,0-99,9 2. Способ травления по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности процесса , травление веду...