НИСИМУРА Тацуя (JP)

 Изобретение относится к способу и устройству для охлаждения фольги выходного окна ускорителя электронного пучка. Способ охлаждения оконной фольги, обеспечивающей вывод пучков электронов из ускорителя электронных пучков сканирующего типа, характеризуется тем, что осуществляют дутье охлаждающих газов на сканируемую электронным пучком поверхность с обеих сторон для охлаждения первичной оконн...