ПАНОВА З.В.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С ПОЛЕВЬМ ЭФФЕКТОМ ,, включающий операции создания областей .стока и истока и подзатворного диэлектрика, путем получения на поверхности полупроводника пленки двуокиси кремния и стаб.илизации ее слоем фосфорсиликатного стекла, создания затвора .и контактных площадок, отлич.ающийс я тем, что, с целью повышения выхода годных, пленку фос...