МУРАШКО В.А.

  1. МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий являющиеся полюсами магнита катодные пластины с отверстиями в одной из них и расположенную между Изобретение относится к ионно-плазменной технике и может быть использовано для получения ионных пучков. Известны многоканальные источники ионов, применяемые для равномерного облучен ия больших поверхностей без сканирования пучка. Эти источн...