ВАГИН С.П.

  СПОСОБ СОЗДАНИЯ ПРОФИЛЕЙ ИОННОЙ ПОВРЕЖДАЕМОСТИ в плоских образцах путем ионной бомбардировки, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения и упрощения технологии, ионную бомбардировку осуществляют через поглощаницие фильтры цилиндрической формы. { l9) {31) СОЮЗ СОВЕТСКИХ NUNI РЕСПУБЛИК 4{5ц Н 01 ? 21/265 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 ::. И ЬВТСССИСВУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ...