РУМЯНЦЕВ Ю.М.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕК- ОЖИДКОСТНОЙ ЭПИТАКСИИ ПОЛУПРОВОДНИSC V OV S A I , лз 11; КОВЫХ СОЕ/ЩНЕНИЙ, включающее тигель для раствора-расплава, держатель для крепления подложки, установленный с возможностью вертикального перемещения, токоподводы к подложке и тиглю и электрические изоляторы держателя и внутренней поверхности тигля, отлн.чающееся тем, что, с целью повышения однородности с...