ЩЕКАЧИХИН ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ

  С Ю. И. Осипов, В. Д. Матвеев и Ю. М. Щекачихин (72) Авторы изобретения (11) Заявитель Кировский политехнический институт (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК Изобретение относится к средствам, предназначенным для измерения толщины тонких полупроводниковых, магнитных, диэлектрических, металлических пленок, напыляемых на поверхность подложки при изготовлении ми...