ТРУСОВА С.Г.

  СПОСОБ ОТЖИГА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включакхций облучение пластин импульсами некогерентного электромагнитного излучения миллисекундного диапазона, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности и увеличения процента выхода, облучениетфoвoдяt одновременно с двух противоположных сторон пластины. СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОИ Л РЕСПУБЛИН ае (и) ggy Н 01 L 21 268 ОПИСАНИЕ И...