СЕЛИФАНОВ ОЛЕГ ВЛАДИМИРОВИЧ

  (72) Авторы изобретения В. Т. Свирин, О. В. (71) Заявитель Институт электроник (54) ИМПУЛЬСНЫЙ ГЕНЕРАТОР ЭРОЗИОННОЙ ПЛАЗМЫ Изобретение относится к импульсной технике и может быть использовано в технологическом оборудовании для нанесения вакуумных покрытий, например, в микроэлек тронике. Известен импульсный генератор, содержащий накопитель энергии, импульсную электроразрядную...