Домрачев Г.А.

 (19)SU(11)884339(13)A1(51)  МПК 6    C23C16/54(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Изобретение относится к области получения неорганических покрытий осаждением из газовой (паровой) фазы при пиролизе химических соединений, например,...

 (19)SU(11)919382(13)A1(51)  МПК 6    C23C16/54(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Изобретение относится к устройствам для получения покрытий химическим осаждением из газовой (паровой) фазы, в частности к устройствам для пиролитиче...