Кибалина Н.П.

 1. Способ отжига структур полупроводник-диэлектрик, включающий операцию импульсного облучения подложки с нанесенной на нее диэлектрической пленкой, отличающийся тем, что, с целью предотвращения повреждений структур, облучение проводят излучением, равномерно поглощающимся и в пленке, и в подложке. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучение проводят электронами с энергией 5 - 10000 к...