ДЕМЬЯНЕНКО ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ

  (72) Авторы изобретения В. А, Демьяненко, В. Ф. Шумейко и А. Н. Сердюков (71) Заявитель (54) СПОСОБ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ Изобретение относится к тонкопленочной. технологии и может быть использовано при. термической обработке тонкопленочных резисторов и тонкопленочных резисторных схем из металлосилицидных сплавов. Известен способ термической обработ...