ГАВРИЛИВ АННА ПЕТРОВНА

  Союз Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и>887463 б + -»". (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 150280 (21) 2882690/23-26 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет— Опубликовано 07.1281. Бюллетень ¹ 45 (51}М. Кл. С 01 В 33/18 Государствеииый комитет СССР по делан изобретеиий и открытий (53} УДК 661,183. . 7...

  Использование: для полупроводниковых устройств. Сущность изобретения: пленки получают термическим разложением диметилили диэтилцинка в присутствии окислителя, в качестве которого применяют водород-кислородную смесь и процесс проводят в режиме ее горения при давлении паров 60-80 мм рт.ст. и температуре подложки 20-50°С. 1 табл. сл с СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕ...