ФАЛЬКЕВИЧ ЭДУАРД СЕМЕНОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскик Соцнапмстнческми Респубпнк (ii) 891126 (6! ) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 14.02.77 (2) ) 2451 955/23-26 (51)M. Кл. В 01D 53/02 с присоединением заявки М1евудирстввииый комитет (23) Приоритет до делам изобретений и открытий Опубликовано 23.12.81 ° Бюллетень №47 Дата опубликования описания26 12,81...

  Изобретение относится к способам выделения трихлорсилана и тетрахлорида кремния из смеси хлорсиланов, может быть использовано в производстве полупроводникового кремния и позволяет повысить чистоту продуктов и их выход. Смесь хлорсиланов подвергают трехстадийной ректификации с подачей в куб колонны второй стадии паров воды при 40-106°С для формирования кислородсодержащих силано...