ПОТАПОВ ЕВГЕНИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Союз Советскик Социалнстнческик Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСИ©МУ СВИ ВТИЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено1604я0 (2!) 2910627/18-21 (51)М. с присоединением заявки Но (23) Приоритет Н 03 К 17/60 Государственнмй коинтет СССР но делам нзобретеннй я открнтнй Опубликовано 23.12.81, Бюллетень Н9 47 Дата опубликования олисания 23. 12 ° 81 (53) УДК 621...

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА МИКРОСХЕМ, заключающийся в том,что на однородной подложке формируют тестовзпо ячейку,освещают ее параллельным пучком монохроматического света под углом к плоскости подложки, регистрируют параметры отраженных пучков света и определяют контролируемый параметр, отличающийс я тем, что, с целью повьппения точности из...