КОЛГАНОВ ВЛАДИМИР ПАВЛОВИЧ

  (72) Авторы изобретеиия Н.А. Потолоков, В.П. Потепалов, А.А. Ефремов и В.П. Колганов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА Изобретение относится к очистке хлористого водорода и может быть ис" пользовано при производстве хлористого водорода особой чистоты, используемого в технологии эпитаксиальных структур. Известен способ очистки хлористого водорода, заключаю...