ЗАВЬЯЛОВА АННА АРКАДЬЕВНА
Изобретатель ЗАВЬЯЛОВА АННА АРКАДЬЕВНА является автором следующих патентов:
Способ контроля поверхностного слоя полупроводникового монокристалла и трехкристалльный рентгеновский спектрометр для осуществления способа
Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А8ТОРСКОМУ С8И ТИЗЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (т 763751 (22) Заявлено 160580 (21) 2924065/18-25 (51) М, Кл. с присоединением заявки Ио 2924066/18-25 G 01 N 23/207 ГосударствеиинЯ комитет СССР no aeneas бpииЯ и откРытиЯ (23) Приоритет Опубликовано 301281 Бюллетень йо 48 (SS) V 548.735 (088.8) Дата опу...
894501
Рентгенодифракционный способ исследования структурных нарушений в тонких приповерхностных слоях кристаллов
Изобретение позволяет получать с высокой чувствительностью информацию о структуре тонких приповерхностных слоев до толщины 1 нм на двухкристальном спектрометре. Угловое распределение интенсивности при различных углах отворота .исследуемого кристалла от точного брэгговского угла определяют с помощью детектора со щелью, линейно перемещающегося в плоскости, перпендикулярной плоскост...
1257482