ПУХОВ В.Н.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С РЕЗИСТОРАМИ, включающий операции формирования диэлектрического слоя на полупроводниковой подложке с электрическими компонентами , маскирования, получения резистора путем ионного легирования, вскрытия контактных окон в диэлектрике и формирования межсоединений, отлич ающийся тем, что, с целью повьппения процента выхода годных прибрро...