PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КАРПУТЬ ВИТАЛИЙ АНТОНОВИЧ

Изобретатель КАРПУТЬ ВИТАЛИЙ АНТОНОВИЧ является автором следующих патентов:

Установка для обработки полупроводниковых пластин

Установка для обработки полупроводниковых пластин

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТИЗЬСТВУ Союз Соввтсинк Соцналнстнчвсина республик {51) М. Кл . F 27 В 1/10 )деударетеиивй квинтет CCCP ио авлан изе4ретеиий и еткрытий Опубликовано 23.01.82, бюллетень М 3 Дата опубликования описания 23.01.82 {53) УДК621.783..245 (088.8) (72) Авторы изобретения Э. П. Калошкин, А. Д. Рычаго, П. П. Долгий, В. А/Марцуть, В. С. Круть...

900085