Акимова Л.А.

 (19)SU(11)902603(13)A1(51)  МПК 6    G03C5/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИСПРАВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ Изобретение относится к способам исправления дефектов фотошаблонов и может быть использовано в производстве полупроводников при изготовлении эмульсионных фото...

 (19)SU(11)1080638(13)A1(51)  МПК 6    G03C1/72H01L21/312(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СОСТАВ ФОТОРЕЗИСТА Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для получения микросхем методом фотолитографии. Точность воспроизведения размеров элементов из...