ГОМАН ЛЕОНИД ВЛАДИМИРОВИЧ
Изобретатель ГОМАН ЛЕОНИД ВЛАДИМИРОВИЧ является автором следующих патентов:
![Устройство для контроля размерных параметров топологии фотошаблонов Устройство для контроля размерных параметров топологии фотошаблонов](https://img.patentdb.ru/i/200x200/90201afd389baae6c335042f7e4792b1.jpg)
Устройство для контроля размерных параметров топологии фотошаблонов
Союз Советских Социалистичееиих Раеттублии О П И С A Н И Е (905633 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (63 ) Дополнительное к авт. свиц-ву (22) Заявлено 12.05.80 (21) 2921 957/25-28 (5g } Q (л с присоединением заявки J4 G 01 В 11t02 Ркударатмииьй каиитет CCCP аа делеи изабретеиий и аткрытий (23) Приоритет Опубликовано 15.02.82, Бюллетень М 6 Дата опубликования описания...
905633![Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки](https://img.patentdb.ru/i/200x200/ac99e2fff24f21d2eaa42f7d3bb35614.jpg)
Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (и1959020 (6!) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) За ено 19.02.81 {21) 3252324/18.-10 с присоединением заявки ¹ Р М К з G 03 В 27/02 В 41 М 3/08 Государственный. комитет СССР но делам изобретений и открытиЯ (23) Приоритет Опубликовано 15,09. 82.бюллетень ¹34 Дата опубликования опис...
959020![Устройство измерения геометрических параметров поверхности полупроводниковых пластин Устройство измерения геометрических параметров поверхности полупроводниковых пластин](https://img.patentdb.ru/i/200x200/0733649503b748df9193df05aa567d1a.jpg)
Устройство измерения геометрических параметров поверхности полупроводниковых пластин
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для считывания формы поверхности объектов. Цель изобретения - повышение точности измерения - достигается путем исключения погрешностей, связанных с температурным и временным дрейфом конструкции устройства. Из7 7 лучение лазера 1 проходит фокусирующую систему 2, зеркала 3 и 4, отклоняется сканаторами 5 и 6, отраж...
1409863